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SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成，具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。應用于生物、醫(yī)學、材料和化學等領域。SEM掃描電鏡在使用時應需要以下事項：1、將試樣置于載物臺墊片，調整粗/微調旋鈕進行調焦，直到觀察到的圖像清晰為止；2、調整載物臺位置，找到要觀察的視野，進行分析；3、掃描電鏡調焦時注意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡；4、當載物臺墊片...

X射線衍射儀XRD是研究物質的物相和晶體結構的主要方法。當某物質(晶體或非晶體)進行衍射分析時，該物質被X射線照射產生不同程度的衍射現象，物質組成、晶型、分子內成鍵方式、分子的構型、構象等決定該物質產生*的衍射圖譜。X射線衍射方法具有不損傷樣品、無污染、快捷、測量精度高、能得到有關晶體完整性的大量信息等優(yōu)點。因此，X射線衍射分析法作為材料結構和成分分析的一種現代科學方法，已逐步在各學科研究和生產中廣泛應用。X射線衍射儀XRD的形式多種多樣，用途各異，但其基本構成很相似，為衍射...

臺式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發(fā)出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10nm的電子束，并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質相互作用產生二次電子，背反射電子，X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收，經放大后用來調制熒光屏的亮度。由于經過掃描線圈上的電流與顯像管相應偏轉線圈上的電流同步，...

場發(fā)射電鏡采用了肖特基場發(fā)射電子(SFE)源。其特點是：探針電流大，容易進行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，場發(fā)射電鏡加速電壓0.1-30kV，且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低，像差也隨著降低。從而在降至100V時，也有水平的分辨率，在30KV時具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉，降低了電子束電子之間的靜電庫倫作用，避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時，...

應用各種礦物學原理與方法，通過礦物的光、電、聲、熱、磁、重、硬度、氣味等以及其主要的化學成分特征，對巖石、礦物樣品、包括光(薄)片、砂片、碎屑、粉末進行觀察、鑒定以區(qū)別其礦物類別，以及研究巖石、礦石的主要礦物組成、礦物成生序列，結構、構造、巖(礦)石類型的技術方法，稱為巖礦分析(鑒定)。巖礦分析系統現今已經可以準確地確定礦物微區(qū)化學成分、內部結構、晶系，晶胞參數等，對礦物表面進行的精細掃描，已可精密測量礦物表面元素組成、價態(tài)、表面形貌，并繪出礦物的三維圖像(地球科學辭典)。地...

SEM掃描電鏡是利用細聚焦電子束在樣品表面逐點掃描，與樣品相互作用產生各種物理信號，這些信號經檢測器接收、放大并轉換成調制信號，在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強、放大倍數范圍大、連續(xù)可調、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡單等特點，是進行樣品表面研究的有效分析工具。通過本實驗學習，了解掃描電鏡基本機構，掌握掃描電鏡的基本使用方法和使用過程中的注意事項。SEM掃描電鏡圖像襯度觀察：1．樣品制備掃描電鏡的優(yōu)點之一是樣品制備簡單，對于新鮮的...

臺式掃描電鏡體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能好，因而適用的范圍廣。然而半導體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導體器件試制和生產過程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學試劑處理等一系列工作，會造成表面的結構發(fā)生驚人的變化，所以幾乎每一個步驟都需要對擴散進行檢測，深度進行測繭或者直接看到擴散區(qū)的實際分布情況，而生產大型集成電路就更是如此。目前，臺式掃電鏡在半導體中的應用已經深入到許多方面。臺式掃描電鏡利用柬感應電流（EBIC）像和吸收電...